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Risesun Hotbar - 涂層硅碳棒
碳化硅加熱元件可在不同氣氛的爐內使用，但在一些氣氛條件下元件的使用壽命會受到影響而縮短，為了延長元件在不同氣氛中的使用壽命，我們準備了不同類型的涂層來保護元件的碳化硅結構，以防其加速老化，主要有A、B、C、D、等類型的涂層。
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碳化硅加熱元件可在不同氣氛的爐內使用，但在一些氣氛條件下元件的使用壽命會受到影響而縮短，為了延長元件在不同氣氛中的使用壽命，我們準備了不同類型的涂層來保護元件的碳化硅結構，以防其加速老化，主要有A、B、C、D、等類型的涂層。但事實上，一個爐內幾種有害的揮發物可能同時存在，甚至本來無害的揮發物由于與其它揮發物混合成為有害物，從而影響元件的使用壽命。由于不同類型的涂層在不同氣氛中所體現的使用效果不同，選擇涂層時需先針對具體問題做小批量的試驗，以發現最佳方案，選用一種最適用的涂層。
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元件在不同氣氛下使用的影響和推薦的涂層
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氣氛 |
對元件的影響 |
解決辦法 |
推薦涂層 |
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水蒸汽和濕氣 |
比在干燥大氣中使用壽命縮短約20% |
新爐子運行或舊爐子長時間不工作再使用時，要先低溫充分干燥后再升溫 |
A涂層 |
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氮氣 |
溫度超過1400度時氮氣與碳化硅反應生成氮化硅，使元件變脆，壽命縮短，受露點影響與氫氣的狀況相同 |
建議爐溫在1300度以下使用，表面負荷盡量小 |
B涂層 |
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氫氣 |
元件上升到1350度以后電阻急速增加，機械強度也下降，而且根據氣體干濕的不同壽命也差別很大 |
建議爐溫在1300度以下使用，表面負荷小于5Ｗ/CM2 |
C涂層 |
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氨氣 |
與氫氣、氮氣的狀況相同 |
建議爐溫在1300度以下使用，表面負荷小于5Ｗ/CM2 |
B涂層 C涂層 |
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分解氣體 （N2，CO，CO2，H2，CH4） |
加熱過程中元件表面附著分解后碳黑，造成棒體疏松 |
經常向爐內輸送空氣，讓多余的碳燃燒。在爐子構造方面，保持加熱元件間有足夠的間隔以防止短路. |
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硫 （S、S2） |
元件溫度升到1300度后，元件表面被侵蝕，電阻急劇增加 |
將元件溫度控制在1300度以下 |
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真空 |
在高真空中不能生成二氧化硅保護膜，碳化硅自行分解，壽命縮短 |
在0.13Pa以上的壓力和1100度以下的爐溫使用 |
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其他 |
由被處理物產生的各種物質，如鉛、銻、堿金屬的化合物與元件反應，使其壽命縮短。 |
預先將這些物質從處理物中除掉，爐內設排氣口以便減弱其影響 |
D涂層 |
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